隨著社會的發(fā)展，有越來越多的假冒偽劣產品。精密光刻系統(tǒng)主要用于假冒偽劣產品的防偽加工。這對光刻技術的定位精度提出了極高的要求，直線電機的應用在那些方面呢？

　　傳統(tǒng)的電機加一套變換結構和線性運動驅動裝置的組成已經(jīng)不能滿足現(xiàn)代控制系統(tǒng)的要求。另一方面，由于直線電機驅動的位移結構具有普通驅動結構無法比擬的快速響應能力和精度的優(yōu)點，直線電機驅動的精密光刻系統(tǒng)得到了廣泛的應用。

　　直線電機相對于傳統(tǒng)電機有以下優(yōu)點：首先，由于直線電機不需要改變附加設備的旋轉運動，因此系統(tǒng)結構大大簡化，重量和體積大大減少；其次，定位精度高，在需要線性運動時，直線電機可以完成直接傳播，因此可以消除由于定位中間環(huán)節(jié)引起的各種誤差，定位精度高，如采用微機控制，可進一步提高整個系統(tǒng)的定位精度；第三，反應速度快，靈敏度高，隨動性能好。直線電機易受磁懸浮支撐，使動子與定子之間始終存在一定的氣隙，消除了動子與定子之間的接觸摩擦阻力，進一步提高了系統(tǒng)的靈敏度、快速性和隨動性。四、運行安全可靠，使用期限長。直線電機可完成無接觸傳動力，機械摩擦損耗幾乎為零，因而故障少，免維護，因而運行安全可靠，使用期限長。

　　直線電機使用的光柵尺分辨率可達0.1m,不僅提高了光刻速度，同時進一步提高了光刻精度。直線電機由于其結構簡單、反應速度快、靈敏度高、跟蹤好、密封好、不怕污染、適應性強、運行穩(wěn)定可靠、使用期限長等優(yōu)點被廣泛應用于工業(yè)生產中。

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